Tài liệu Các phương pháp thu điện tử trong Sem
CAÙC PHÖÔNG PHAÙP THU ÑIEÄN TÖÛ TRONG SEM
1
AÛNH THAØNH PHAÀN VAØ AÛNH ÑÒA HÌNH
Thöôøng khoù phaân bieät aûnh ñòa hình vaø aûnh thaønh phaàn do caùc tín hieäu xen
phuû leân nhau taïo töông phaûn toång hôïp cho hình aûnh. SEM söû duïng phöông
phaùp sau ñeå taùch bieät hai daïng aûnh naøy:
• Caëp detector raén ñöôïc ñaët ôû 2 phía cuûa maãu ñoái xöùng qua truïc quang
hoïc, caùc tín hieäu thu ñöôïc ñöôïc coäng vaø tröø baèng phöông phaùp ñieän
• Hình aûnh thaønh phaàn laø A+B (nhìn hình veõ)
• Hình aûnh ñòa hình laø A-B (nhìn hình veõ)
2
2 trang
13580
Free
Bạn đang xem tài liệu "Tài liệu Các phương pháp thu điện tử trong Sem", để tải tài liệu gốc về máy hãy click vào nút Download ở trên
File đính kèm:
- tai_lieu_cac_phuong_phap_thu_dien_tu_trong_sem.doc
